神奈川県でレーザートラッカーを使用した半導体製造設備の軌跡測定

2017年1月
今回は神奈川県で半導体部品を製作している会社様への出張測定でした。

経緯

半導体部品を作るプレス機のような設備で
上型が上下動作する仕様になっており
その上下動作の精度がどうも良くないとのことで
サワテツに測定相談のお話をいただきました。

測定内容

箱型のプレス機のような設備の上型に測定球を取付け軌跡測定をしました。
測定前に上下動作を見させていただきましたが、
見た目では真っすぐ降りてきているように見えていました。
しかし、軌跡測定をしてみると始点と終点の位置が違い動きも斜めに降りている傾向でした。