神奈川県でレーザートラッカーを使用した半導体装置の三次元測定

2016年7月
今回は神奈川県の半導体装置メーカー様への出張測定でした。

経緯

半導体装置の精度保証のために、可動部の移動前後の測定をしたかったそうです。
ただし、組付後の装置のため、お客様の工場で測定をしてくれる会社を探していたそうです。

その中でサワテツのHPを見て頂き、出張測定ができるということでご依頼頂きました。

測定内容

レーザートラッカーを使用して、半導体装置のプレート（固定側）で基準面を作成します。
その面を基準にして、三次元測定を作成します。

プレート（可動側）を一定間隔で測定し、プレート（固定側）に対しての座標を評価します。

その後、プレートを可動させた後に、同じ測定を行い、可動前後の数値を比較します。