神奈川県 半導体装置 三次元測定 レーザートラッカー

2016年7月
今回は神奈川県の半導体装置メーカー様への出張測定でした。

【経緯】
 
半導体装置の精度保証のために、可動部の移動前後の測定をしたかったそうです。
ただし、組付後の装置のため、お客様の工場で測定をしてくれる会社を探していたそうです。
 
その中でサワテツのHPを見て頂き、出張測定ができるということでご依頼頂きました。
 


【測定方法】

レーザートラッカーを使用し三次元測定

【ワークサイズ】

1.5m×1.5m×2m

【測定日数】

1日

【測定内容】
 
レーザートラッカーを使用して、半導体装置のプレート(固定側)で基準面を作成します。
その面を基準にして、三次元測定を作成します。
 
プレート(可動側)を一定間隔で測定し、プレート(固定側)に対しての座標を評価します。
 
その後、プレートを可動させた後に、同じ測定を行い、可動前後の数値を比較します。
 

【三次元測定】
レーザートラッカーを使用すれば、現地で三次元座標を作成することが可能です。
 
今回のような大きい範囲を三次元測定することも、
レーザートラッカーを使用をすれば可能となります。
 
座標を作成することで、距離や直径を測定できるのはもちろんのこと、
平面度、垂直度、同軸度、位置度などの幾何公差も測定できます。
 
1度座標を作成すれば、同じ座標のまま測定機を移動することも可能なので、
大きな設備でも測定することが可能です。

 

→三次元測定のご紹介

 
【サワテツの強み】
小さい製品であればマイクロメーターやノギスなどどいった測定器で測定できます。
また、誰が測定してもだいたい同じ測定値が出てきます。
 
ただ、大型設備は、測定すること自体が困難で、
測定方法によって測定値が大きく変わってきます。
 
・レーザートラッカーをどこに置くか?
・どこを基準にするか?
・何点で測定するか?
 などを考えて測定しないと測定値の保証ができません。
 
サワテツは、大物測定の経験が豊富です。
尚且つ、加工屋集団なので、加工に対する知識もあるため、

製品によって最適な測定ができます。