神奈川県 半導体装置 三次元測定 レーザートラッカー

2016年7月
今回は神奈川県の半導体装置メーカー様への出張測定でした。

【経緯】
 
半導体装置の精度保証のために、可動部の移動前後の測定をしたかったそうです。
ただし、組付後の装置のため、お客様の工場で測定をしてくれる会社を探していたそうです。
 
その中でサワテツのHPを見て頂き、出張測定ができるということでご依頼頂きました。
 


【測定方法】

レーザートラッカーを使用し三次元測定

【ワークサイズ】

1.5m×1.5m×2m

【測定日数】

1日

【測定内容】
 
レーザートラッカーを使用して、半導体装置のプレート(固定側)で基準面を作成します。
その面を基準にして、三次元測定を作成します。
 
プレート(可動側)を一定間隔で測定し、プレート(固定側)に対しての座標を評価します。
 
その後、プレートを可動させた後に、同じ測定を行い、可動前後の数値を比較します。
 


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